技術：氣動隔膜

特性：

專為半導體行業(yè)設計

非金屬，流體通道內無O型圈

滲流設計

無金屬固定件，如拉桿或支架

有集成脈動均衡器可選

100級凈室內組裝

技術數(shù)據(jù)：

機加工的塑料設計，有聚乙烯（PE）和聚四氟乙烯（PTFE）兩種材質

優(yōu)化的聚四氟乙烯（PTFE）隔膜技術

五種尺寸：從10mm（3/8"）到38mm（1-1/2"）

NPT接口

最高耐受溫度：200° C（390°F）

精確的流體輸送

性能數(shù)據(jù)：

最大流量：200lpm（52gpm）

最大吸程：干吸4m（13.1'），濕吸9m（29.5'）